一、产品概述

ST2253A型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试导体、半导体材料电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考A.S.T.M标准。

仪器成套组成：由主机、选配的四探针探头和测试台等三部分组成。

主机主要由数控恒流源，高分辨率ADC、嵌入式单片机系统组成。自动/手动量程可选；电阻率、方阻、电阻测试类别快捷切换：仪器所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘输入，简便可靠；具有零位、满度自校功能；测试结果由数字表头直接显示。

探头选配：根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。高耐磨碳化钨探针探头，测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；球形镀金铜合金探针探头，测试柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。四端子测试夹具，测试电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。配专用探头，也可测试电池极片箔上涂层电阻率。

测试台选配：四探针法测试电阻率/方阻配SZT-C或SZT-F型测试台。四端子法测试电阻率测试选SZT-K型测试台，SZT-G型测试台测试橡塑材料电阻率。SZT-L型测试台测试纤维状样品电阻率，SZT-H测试台测试金属箔材电阻率。

详见《不同半导体材料电阻率/方阻测试的四探针探头和测试台选配方法》

二、技术参数

1.测量范围、分辨率（括号内为拓展量程）

电    阻：10.0×10^-6 ～ 200.0×10³  Ω,分辨率1.0×10^-6 ～ 0.1×10³  Ω

         （1.0×10^-6 ～ 20.00×10³  Ω,分辨率0.1×10^-6 ～ 0.01×10³ Ω）

（100.0×10^-6 ～ 2.000×10⁶  Ω,分辨率10.0×10^-6 ～ 0.1×10³ Ω）

电 阻 率：10.0×10^-6 ～ 200.0×10³ Ω-cm 分辨率1.0×10^-6 ～ 0.1×10³Ω-cm

方块电阻：50.0×10^-6 ～ 1.0×10⁶ Ω/□   分辨率5.0×10^-6 ～ 0.5×10³Ω/□

2.材料尺寸(由选配测试台和测试方式决定)

直径：SZT C型测试台直接测试方式180mm×180mm（尺寸可定制），手持方式不限

长(高)度：测试台直接测试方式 H≤100mm（高度可定制），手持方式不限

3.数字电压表

1)量程：20.00mV

2)误差：±0.2%FSB±2LSB

3)最大分辨力：1.0µV

4)显示:4位数字显示，小数点自动显示

4.数控恒流源

1)电流输出：直流电流0.1µA～1.0A，系统自动调整

2)误差：±0.2%FSB±2LSB

5.电源

功 耗：< 15W，输入:220V±10%   50Hz±2%

6.工作条件

温度：0-45℃             相对湿度：≤60%

工作室内应无强电磁场干扰，不与高频设备共用电源。

7.外形尺寸

主机：245mm（长）×220 mm（宽）×95mm（高）