苏州晶格半导体材料电阻率测试仪ST2258C四探针检测仪 源头厂家

二、技术参数

1. 测量范围、分辨率（括号内为拓展量程，可定制）

电    阻：10.0×10^-6 ～ 200.0×10³  Ω,    分辨率1.0×10^-6 ～ 0.1×10³  Ω

         （1.0×10^-6 ～ 20.00×10³  Ω,    分辨率0.1×10^-6 ～ 0.01×10³ Ω）

电 阻 率：10.0×10^-6 ～ 200.0×10³ Ω-cm   分辨率1.0×10^-6 ～ 0.1×10³  Ω-cm

         （1.0×10^-6 ～ 20.00×10³ Ω-cm  分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×10³ Ω-cm）

方块电阻：50.0×10^-6 ～ 1.0×10⁶ Ω/□    分辨率5.0×10^-6 ～ 0.5×10³  Ω/□

         （5.0×10^-6 ～ 100.0×10³ Ω/□  分辨率0.5×10^-6 ～ 0.1×10³  Ω/□）

2. 材料尺寸(由选配测试台和测试方式决定)

直    径： SZT-A圆测试台直接测试方式 Φ15～130mm，手持方式不限

SZT-B/C/F方测试台直接测试方式180mm×180mm，手持方式不限.

长(高)度：  测试台直接测试方式 H≤100mm,    手持方式不限.

3. 数字电压表：

⑴量程： 20.00mV

⑵误差：±0.2%FSB±2LSB

⑶最大分辨力：1.0µV

显示: 4位数字显示，小数点自动显示

4. 数控恒流源

⑴电流输出：直流电流0.1µA～1.0A，系统自动调整。

⑵误差：±0.2%FSB±2LSB

5. 四探针测试探头：

有选配的型号确定，详见《不同半导体材料电阻率/方阻测试的四探针探头和测试台选配方法》

8. 电源：

功 耗：< 15W，输入:220V±10%   50Hz±2%

8. 本仪器工作条件为：

温    度：    0-40℃

相对湿度：    ≥60%

工作室内应无强电磁场干扰，不与高频设备共用电源。